微電子行業(yè)使用風(fēng)淋室和普通的風(fēng)淋室結(jié)構(gòu)原理
微電子行業(yè)使用的風(fēng)淋室跟普通場(chǎng)所用的風(fēng)淋室除了部分細(xì)節(jié)方面的設(shè)置以外,總體結(jié)構(gòu)原理基本相同,微電子行業(yè)使用的風(fēng)淋室對(duì)除塵效果要求相對(duì)會(huì)更高的一些,如果一個(gè)小的部件做不到位,那可能帶來的就無法估量了,在這里簡單說一下風(fēng)淋室的結(jié)果原理。
1、概述:風(fēng)淋室是潔凈廠房和裝配式潔凈室的設(shè)備,用于吹除進(jìn)入凈化廠房的人體和攜帶物品表面附著的塵埃,同時(shí)風(fēng)淋室也起到氣閘的作用,防止未經(jīng)凈化的空氣進(jìn)入潔凈區(qū)域,是進(jìn)行人體凈化和防止外空氣污染潔凈區(qū)的有效設(shè)備。
結(jié)構(gòu):系列風(fēng)淋室均采用發(fā)泡隔熱彩色壁板及鋁合金構(gòu)件裝備而成,配置離心機(jī)風(fēng)機(jī)及初效和空氣過濾器,具有外型美觀、結(jié)構(gòu)緊湊、檢修方便、操作簡單等特點(diǎn)。
2、原理:風(fēng)淋室內(nèi)的空氣由風(fēng)機(jī)的作用經(jīng)初效過濾器進(jìn)入靜壓箱,經(jīng)空氣過濾器過濾后,潔凈空氣從風(fēng)淋室的噴嘴高速噴出,噴嘴角度可調(diào)節(jié),可有效地吹除人特或攜帶物品表面附著的塵埃,吹下的塵埃再回收進(jìn)入初效空氣過濾器,如此循環(huán)可以達(dá)到風(fēng)淋的目的。
3、用途及特點(diǎn):風(fēng)淋室是操作人員進(jìn)入潔凈室時(shí)使用的人身凈化裝置,它利用高速潔凈氣流吹淋除掉進(jìn)入室內(nèi)人員身上的污物,其噴嘴可調(diào)節(jié),以便有效除去人身上的灰塵,并阻止外界污染進(jìn)入潔凈區(qū)域。它也可應(yīng)用于大件貨物的吹淋。
4、設(shè)備組成:主要由室體、照明、過濾系統(tǒng)、風(fēng)機(jī)組、吹嘴、電控等部分組成。
(1)、室體:壁板采用彩鋼保溫板,其內(nèi)外板均為彩鋼板,中間填充60mm厚聚苯乙烯材料,PU發(fā)泡連續(xù)成型;內(nèi)外板與保溫材料整體壓制而成一體。人員進(jìn)出大門尺寸為(寬×高)mm:700×1800。(2)、室內(nèi)照明:在室體的頂部安裝照明燈,燈管采用飛利浦光源,既安全又節(jié)能且維護(hù)方便,鎮(zhèn)流器采用噴房鎮(zhèn)流器,保證光強(qiáng)≥500Lx。
(3)、送排風(fēng)系統(tǒng):
a、送排風(fēng)的配置方案采用1套送風(fēng)機(jī)組,配置一臺(tái)送風(fēng)機(jī),風(fēng)機(jī)采用離心風(fēng)機(jī)。采用1套排風(fēng)機(jī)組為室體排風(fēng)。
b、萬向吹嘴:室內(nèi)空氣采用設(shè)置在室體頂部和側(cè)面的萬向吹嘴吹向操作人員的不同角落,確保潔凈質(zhì)量。
c、控制系統(tǒng):采用或合資元器件使整個(gè)控制系統(tǒng)具有較高的可靠性。
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